Elektronická vakuová pumpa obecně funguje takto:
Pumpování elektronovým paprskem:
1. Elektronová pistole :Elektronové dělo generuje soustředěný paprsek vysokoenergetických elektronů.
2. Vakuová komora :Elektronový paprsek je směrován do vakuové komory obsahující plyn nebo páru, které je třeba evakuovat.
3. Srážka :Jak elektronový paprsek interaguje s částicemi plynu, předává jim svou kinetickou energii, což způsobuje jejich rychlý pohyb a vzájemnou kolizi.
4. Ionizace :Prostřednictvím srážek se mohou některé částice plynu ionizovat, ztrácet elektrony a vytvářet kladně nabité ionty.
5. Extrakce :Tyto ionty jsou poté přitahovány k záporně nabitým elektrodám nebo povrchům ve vakuové komoře a jsou odváděny pryč z plynu, čímž je účinně odstraňují ze systému.
Čerpání iontové pasti:
1. Zdroj iontů :Iontový zdroj, typicky elektronový paprsek nebo plazma, generuje ionty uvnitř vakuové komory.
2. Elektromagnetická pole :Vývěva využívá elektromagnetická pole (často kvadrupólový hmotnostní spektrometr) k zachycení a omezení generovaných iontů ve specifické oblasti.
3. Selektivní odstranění :Pumpa může selektivně odstraňovat specifické druhy plynu nebo ionty úpravou elektromagnetických polí nebo použitím napětí. To umožňuje selektivní filtrování a čištění plynů.
4. Čerpání :Jak jsou ionty uzavřeny a akumulovány v pasti, tlak plynu uvnitř vakuové komory se snižuje a vytváří vysoké vakuum.
Elektronické vývěvy jsou široce používány v různých vědeckých, průmyslových a výzkumných aplikacích, kde je vyžadováno čisté, bezolejové a často vysoce kvalitní vakuum. Jsou zvláště výhodné v systémech s ultravysokým vakuem (UHV), kde konvenční vývěvy mohou vnášet nečistoty a bránit požadované úrovni vakua.
Elektronické vakuové pumpy nabízejí několik výhod, jako například:
1. Čistý a bezolejový provoz :Nevyžadují maziva ani těsnicí materiály, čímž se eliminuje riziko zpětného proudění oleje nebo kontaminace vakuového systému.
2. Tichý provoz :Elektronické vývěvy jsou obecně mnohem tišší než mechanické vývěvy, protože nezahrnují pohyblivé části a nevytvářejí nadměrné vibrace.
3. Kompaktní a lehký :Elektronické vývěvy jsou často kompaktnější a lehčí ve srovnání s tradičními mechanickými vývěvami, takže jsou vhodné pro aplikace s omezeným prostorem.
4. Ovladatelnost :Nabízejí přesnou kontrolu nad procesem čerpání a úrovní vakua, což umožňuje přizpůsobení podmínek vakua.
Je však třeba poznamenat, že elektronické vývěvy mohou být dražší a vyžadují specializované odborné znalosti pro údržbu a provoz. Ve srovnání s mechanickými čerpadly mívají také nižší rychlost čerpání.
Stručně řečeno, elektronická vývěva využívá elektronické prostředky, jako jsou elektronové paprsky nebo iontové pasti, k vytvoření vakua selektivním odstraněním plynových částic nebo iontů z komory, čímž nabízí čisté, bezolejové a řízené vakuové podmínky pro různé vědecké a průmyslové účely. aplikací.
